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Carbon & Graphite
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Grade Table
General Characteristics
Impervious Graphite
SiC (CVR)
General Characteristics
SiC Coating Graphite와
Carbon/Graphite의 비교
SiC Coating Graphite Heater
SiC (CVD)
General Characteristics
157
1115031

 

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SiC Coating Graphite Heater
- SIC 표면처리된 GRAPHITE HEATER

일반적인 GRAPHITE HEATER ELEMENT는 이론적으로는 발열체 자체온도가 1,800˚C이상의 발열이 가능하며, 4×10-6/℃의 낮은 열팽창 계수가 보여주듯 고온에서도 정밀성을 유지할 수 있고, 기계가공이 용이하여, 요구되는 발열과 공간에 필요한 어떠한 크기 형상으로도 정밀기계가공이 용이한 장점이 있다. 그러나, 실제로 GRAPHITE는 대기중의 산화조건에서는 450˚C이내에서 사용할 수 있는 온도한계와 타금속 보다 충격에 비교적 약한 단점을 가지고 있다.

하지만, 국내 당사만 보유한 기술 CVR(CHEMICAL VAPOR REACTION)PROCESS를 거친 SiC
부터 약 0.3 ~ 3.0mm 깊이까지 SILICON CARBIDE화하여 대기조건도 800˚C까지 내산화성을 가지며 진공중이나 비활성 분위기에서는 내산화성의 한계온도가 2,500˚C까지 높아지고 상대적인 탈까스 현상도 감소시킨다. 아울러 내마모성 및 내충격성 역시 강화되어 취급상 부주의에 의한 손상가능성을 크게 배제 될 수 있다.

결국, SiC 표면처리된 GRAPHITE HEATER 는 대기의 산화성 분위기와 고온진공의 어떠한 작업에서도 약 1,700˚C까지의 발열이 가능하고 상대적인 탈까스가 적으며 기타의 HEATER에 비하여 비교적 수명이 긴 장점을 가지고 있다.

 
PART NO SIZE
(OUT DIA)
VOLTAGE
(V)
AMPERE
(mA)
DY - 02 2 " 40 35
DY - 03 3 " 45 35
DY - 04 4 " 50 45
DY - 05 5 " 55 50
DY - 06 6 " 60 55
DY - 08 8 " 70 65
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