1990
|
Impervious
Graphite 장치개발 |
-기계구조용
Carbon Seal기능
-Hardness 향상 |
1992
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Graphite표면에
SiC Coating처리기술
개발
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-Graphite산화억제
-Hardness 향상
-Purity 향상 |
1995
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SiC
Coating Heater 개발
SiC Coating Susceptor 개발
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-Graphite산화억제
-Hardness 향상
-Purity 향상
-High Temperature 실현 |
1998
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SiC(Silicon
Carbide) 개발
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-Mechanical
Structure Products
-Thermal/Semiconductor Hardware Parts etc 응용 |
1999
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Carbon
& Graphite Density향상기술개발
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-산화억제
-Hardness 향상 |
1999
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Ga
As 증착 SiC Coating Susceptor
개발
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-CVD성능향상
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| 2001 |
유기
EL Crucible,Boat 개발
|
-Thermal
Uniformity 향상 |
